一、RF MEMS器件面面观（论文文献综述）
丁飞[1]（2021）在《压电式喷墨打印头振动板设计制造及测试》文中认为在喷墨打印技术中,压电喷墨打印技术凭借良好的液体兼容性、较高的工作频率和分辨率、较长的工作寿命和较低的工艺成本,不仅在图文印刷行业发挥着巨大作用,而且在电子、生物化工和快速成型等领域的应用也日益广泛。我国对压电式喷墨打印设备的需求量巨大,但对于相关技术研究不成熟,打印设备核心部件（打印头）一直依赖于进口,本文自主研发了一种打印头驱动元件（振动板）,并验证其可行性。主要内容包括:（1）介绍压电喷墨中压力传导过程。设计振动板结构,依据各层结构不同功能和工艺要求选择相应材料。具体基底为单晶硅片,下电极为钛/铂复合金属,压电层为锆钛酸铅,上电极为铬/金/铜复合金属,保护层为聚酰亚胺。介绍制备过程中涉及的微纳米制造工艺（MEMS工艺）。（2）利用有限元分析软件建立仿真模型,对主要结构参数进行仿真分析,并结合实际工艺条件和经验选择合适的尺寸。确定的参数为:振动板长度和宽度分别为2800μm和250μm;弹性层厚度为200nm;压电层宽度和厚度分别为200μm和1.4μm;上电极中铜厚度为0.5μm;保护层厚度为1μm。分析不同驱动信号对振动的影响,选择单梯形波作为驱动信号并对其进行优化。（3）对振动板进行具体工艺制造,阐述振动板各层结构制备及图形化的工艺流程和参数。针对负性光刻胶去除时存在残胶情况,利用金属薄膜在湿法腐蚀过程中的侧蚀现象进行去除,有效减少了残胶数量。（4）对振动板进行封装和激光多普勒测试,验证振动板可以为喷墨打印头提供有效的动力;对采用设计的振动板作为驱动元件的打印头进行喷墨测试,验证了振动板在实际工作中的可行性。
郭广军[2]（2020）在《龙伯透镜天线和磁性短波天线高增益特性研究》文中研究说明天线增益是衡量一个天线系统的主要指标,增益越高抗干扰能力越强,通信距离也越远,因此,高增益天线被广泛应用在现代雷达、移动通信和卫星通信等诸多领域。天线的口径效率和辐射效率是影响天线增益的重要因素,因此,本文针对龙伯透镜天线的口径效率和磁性短波天线的辐射效率问题进行了详细的研究和分析。1、分别研究了透镜介电常数分布和馈源辐射方向图对龙伯透镜天线增益的影响。（1）基于变换光学原理以及广义龙伯透镜的聚焦特性,提出了一种具有高增益低剖面的平面广义龙伯透镜天线的设计方案。仿真结果表明:采用该方法设计的平面广义龙伯透镜天线不仅增益（18.4dB）比平面传统龙伯透镜天线增益（17.8dB）高0.6dB,而且剖面比平面传统龙伯透镜天线剖面低15%。（2）基于几何光学和口径天线理论,详细分析了馈源辐射方向图对龙伯透镜天线增益的影响,并从理论上计算出了使传统龙伯透镜天线增益最高时所需馈源的最佳辐射方向图公式。结果表明:传统龙伯透镜天线增益随着馈源半功率波束宽度的增加先增大后减小,与天线类型无关;且对于一个真实的馈源天线,当其半功率波束宽度在68°附近时,其对应的龙伯透镜天线增益最高。设计加工了几款不同类型的馈源天线和龙伯透镜样机,最终测量结果与理论分析和仿真结果均吻合得非常好。2、研究了如何提高磁性电小短波天线的辐射效率问题。为了保证电磁波在传统的多匝螺旋线圈天线上的行波传输,螺旋线圈长度往往大于其工作波长,这会使得其在空间产生的场相互抵消导致天线辐射效率降低。针对该问题,提出了一种交替反绕的多匝线圈结构,该结构可以克服空间场的相互抵消问题。最后设计了一款由六组交替铁氧体螺旋环组成的天线,相邻两组铁氧体螺旋环采用相反的绕线方法,从而使得各组铁氧体螺旋环在空间产生的场相互叠加。仿真结果表明:采用该方法设计的电小短波天线辐射效率远远高于未采用这种绕线方法的电小短波天线辐射效率。
郭怡萱[3]（2019）在《基于相位处理的频率源测量与控制的研究》文中研究说明时频测控技术与各个领域息息相关,其中包括航天、军事、勘探、天文、电力通信等。随着时频系统的快速更替,对频率源的测量与控制技术的要求越来越高。相位是周期性现象所具有的重要参数之一,基于相位处理的测量方法具有较高的测量精度和测量分辨率。传统的测量与控制技术方法主要有正负一个字的计数误差,响应时间过长,线路复杂等缺点。现代科学的发展对时频测控技术的要求越来越高,故将相位处理融入测量与控制具有显着性意义。在对相位处理理论深入分析的基础上,本文设计一个基于相位处理的频率测量与控制系统。测量系统中首先将参考信号和被测信号转为数字信号,再对两信号进行相位重合检测,进而得到测量结果。控制系统中,将压控晶体振荡器与被测端相连,将其与参考信号间的相位差转换为压控电压,通过压控电压控制压控晶体振荡器,从而调整其输出频率。基于相位处理的频率测控系统应用了相位处理理论中的相位步进现象和相位群同步现象。相位步进现象体现在基于时钟游标效应的模数转换过程中。采样时钟信号与被采样信号满足时钟游标效应要求的特殊频率关系时,可较好恢复出被采样信号的原始信息。被测信号和参考信号的转换精度决定了整个系统的测量精度,为了减小信号采样过程中的量化误差,可利用模数转换形成的量化模糊区具有的特性——边沿效应。相对于模糊区的其他位置,其边沿的分辨率稳定度更好,对被测信号的变化更敏感。通过量化模糊区的边沿获取稳定值,可使具有高转换速率的低位数模数转换器发挥出最好的性能。相位群同步现象体现在被测信号和参考信号的比对过程中,以两信号的相位重合点为标志设置测量闸门,保证测量闸门与两信号同步,可减少正负一个字的计数误差。在实验方案原理分析的基础上,通过自校和互比的测量实验及压控晶振控制实验验证了方案的可行性。测量时可获得10-12/s的短期频率稳定度,压控晶振控制后的短期稳定度也有所提升。相较于已有的频率测控系统,本文设计的测量与控制系统中不需要引入混频器、倍频器等器件进行频率转换,并且将相位处理和数字化相结合,这为时频测控技术提供了一个新思路。
燕雯[4]（2019）在《数字化实时处理的时间比对》文中认为时间比对系统的测量精度严重依赖于时频特性,时间比对是卫星在时间频率领域的重要应用,对利用卫星实现的远距离时间传递和同步服务意义重大。传统的时间比对系统依赖于实体环境的下变频器和时间间隔计数器,而且始终无法克服计数法的原理性误差,同时硬件线路的工艺水平限制了测量精度、快速响应的进一步提高,复杂的线路势必大大增加了时间比对系统的成本和工作量。随着半导体行业高性能模数转换器及数字信号处理器件的快速发展,数字化逐渐成为当今主流的发展方向。本文所论述的数字化实时处理的时间比对技术,辅助以ADC数据转换的边沿效应和边沿拟合的数字化测量原理,将本地频标信号和卫星与本地频标之间的时间间隔信号直接进行数字化处理。首先,揭露了数字化量化模糊区边沿的稳定度将直接决定最终的数据转换精度,提出边沿效应的概念实现对数字化中量化误差的抑制。建立存在于周期性信号的数字化测量中,当模拟输入信号与编码时钟信号满足特定频率关系的时钟游标原理时,依然可以完美恢复出原始模拟输入信号,从而通过数字化直接获得本地秒脉冲信号。其次,将数字化时序比对得到的时间间隔信号经过边沿拓展电路实现边沿的稳定拓展,利用重构高准确度的边沿拟合函数来完成高精度的时间间隔测量。时间比对的数字化处理,将时间传递过程中需要在实体环境下完成的工作直接转换到数字环境,模数转换器的高性能以及数字信号处理器的高速运算能力极大地提高了系统的响应时间,保证了时间比对的实时性。基于以上两方面的数字化实现,解决了模拟环境下的信号处理过程中存在线路复杂、整体设备长期工作漂移等许多限制精度提高的问题。并搭载研制了一款数字化实时处理的时间比对实验样机,实现了模拟向数字环境的转换,其时间比对的分辨率可以达到纳秒量级。在系统性能测试实验中,分别将OCXO 8607-BE恒温晶体振荡器和XHTF1003C-G铷原子钟作为本地频率标准源,依次与卫星信号进行时间比对,测试并验证了数字化时间比对技术的稳定性和可靠性。另外,该数字化实时处理的时间比对系统可应用于将本地频标信号秒脉冲与卫星信号秒脉冲间的时间比对结果直接去控制压控晶体振荡器和数字控制振荡器,以实现本地时钟与卫星时钟间的时间传递和同步。亦或者,可将时间比对结果发送给其它任意地点的相同数字化实时处理的时间比对接收设备,以实现两个或两个以上不同地点的时间传递和同步。
唐文平[5]（2019）在《数字阵列天线中频采样与波束形成器设计及实现》文中研究指明数字阵列雷达采用数字波束形成技术能够灵活实现接收数字多波束,并具有动态范围大、可实现自适应空域抗干扰等特点。本文以某176阵元数字阵列雷达研制课题为背景,设计了一种基于两级架构的全阵列中频采样和数字多波束形成器,完成了两级波束形成硬件架构设计与波束形成算法设计,开展了相应的硬件电路研制与软件开发,实现了接收数字多波束、发射波束形成等功能。论文的主要工作如下:1.设计了一种基于两级架构的数字波束形成方案,给出了两级架构176单元接收通道波束形成计算方法,发射波束形成算法,以及接收通道校准算法。2.研制了176通道中频采样与第一级波束形成器硬件电路,给出了实现176通道中频回波信号采样、处理和同步的实现方案,完成了电路的原理图与PCB设计,包括AD采样电路、FPGA处理电路、高速数据传输电路等;3.设计了多通道中频采样与第一级波束形成FPGA软件,包括多通道AD采样接口软件,部分资源复用的宽、窄带多模式数字下变频软件,接收数字多波束形成软件、发射波束形成软件、高速数据传输软件等功能模块,并完成了FPGA程序的设计、调试和验证;4.完成了第一级中频采样及波束预处理电路的测试,包括A/D有效位数、窄带软件无线电通道幅频响应、接收通道校准、第一级接收数字波束形成功能、DBF方向图等测试;从测试结果可以看出:A/D有效位数不低于10.8bit;接收波束形成时,能够同时形成40MHz带宽的波束3个,24k Hz带宽的波束12个,4k Hz带宽的波束3个;发射波束形成时,能形成1个发射波束;具有接收通道校准功能。同时,采用部分资源复用的数字下变频技术和数字波束形成技术,降低了FPGA的硬件计算资源。
马慧红,顾爱军[6]（2018）在《“一带一路”半导体产业投资分析》文中研究表明"一带一路"是中国提出的重要的国际合作倡议,顺应和平、发展、合作、共赢的时代潮流,得到国际社会的广泛关注和众多国家的积极响应。作为国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产业,半导体产业的全球化发展继续呈现增长势头。随着综合国力的增强和半导体产业的快速发展,我国开始了新一轮的半导体发展热潮,但产能不足及劳动力优势的减弱,促使中国半导体企业谋求走出去发展战略。"一带一路"毗邻国家有较大的市场需求前景及人口红利优势,国家对于"一带一路"项目的资金援助,也为中国半导体企业走出去提供了机遇和可能。分析了"一带一路"国家的半导体产业现状,中国半导体企业参与其市场的机会、优势、注意事项,并祝愿更多的中资企业从容应对各种挑战,成就中国集成电路企业的国际化梦想。
张东[7]（2018）在《一种可穿戴式全双工数字无线通信头戴的设计与实现》文中提出在机场地勤,石油钻井,高空作业等很多特种行业的工作场合,人们的双手并不能随便离开操作的物件或操作台,双手并不能做多余的动作,否则,会发生危险。为了提高生产的安全性,解放操作工作人员的双手,提出一个可直接解放双手、满足短距离通信的可穿戴式通信设备的解决方案,是十分迫切和必要的。本文对能实现此解决方案的可穿戴式全双工数字无线通信头戴进行了研究,通过对可穿戴式设备现状、有关软件无线电技术发展和当前流行的通信方式和通信技术的调查研究,提出了可穿戴式全双工数字无线通信头戴的一个实现方案,并规划了详细的设计过程,并说明在设计过程中应注意的事项和遵循的原则。本文也对可穿戴式全双工数字无线通信头戴相关的通信技术和通信方式以及软件无线电通信原理进行了介绍。本文的主要研究内容可以分四个部分,先描述可穿戴式设备及软件无线电的发展现状,再阐述本课题采用的通信上的有关技术和原理,然后再提出具体的方案,最后详细说明的课题的实现过程。本文的可穿戴式全双工数字无线通信头戴采用的是低中频的软件无线电方案,通信方式为TDD的时分双工通信方式,软件无线电的数字硬件主要采用专用集成电路（ASIC）来实现。专用集成电路（ASIC）,有速度快,性能好,可靠性高,成本低,开发周期短等优点。微控制器与各个外围模块芯片主要采用的是SPI接口通信协议的通信方式。本文对系统用到的关键元器件进行了介绍和选型,说明和介绍了其中一些元器件的工作原理。本文的可穿戴式全双工数字无线通信头戴的主要组成是:送话器、受话器、无线通话单元、软件等部分组成。无线通信单元的硬件电路由可变增益放大器、音频功率放大器、音频编/解码器、CPU、射频收发电路、射频功率和射频前端放大器等部分组成。可穿戴式全双工数字无线通信头戴的结构部分符合可穿戴设备的结构特点,具有便携性,结构紧凑美观。目前,市面流行的头戴,大都是一种音频终端,仅作为一种附件存在,本课题将头戴设计为无线的双工通信的可穿戴式设备,在行业内目前属于较新的事物。
魏宏芳[8]（2017）在《压电喷墨打印头驱动器结构优化与波形设计》文中进行了进一步梳理喷墨打印技术因其独特的优势现已成为现代工业制造中不可或缺的技术,然而,由我国自主研发的喷墨打印头却少之又少,打印头的核心部件主要靠进口。因缺乏喷头制造的核心技术,中国在该领域长期受国外技术的封锁。本文就自主研发的压电喷墨打印头驱动器的结构和驱动波形的设计进行了研究。主要内容包括:（1）介绍压电喷墨打印相关的理论,包括压电驱动器各组成层的性质与作用、驱动器的振动机理、流体喷射理论、墨滴喷射成形过程、墨水特性分析及驱动波形作用于墨滴喷射的机理,为后文压电驱动器结构的模拟优化和驱动波形的设计提供理论基础。（2）以振动板的位移峰值作为评价压电驱动器性能的主要标准,模拟优化压电驱动器各部分的结构及尺寸,并使用激光多普勒测振仪测量不同结构参数的振动板的位移峰值,以验证模拟结果的正确性。通过数值模拟与实验验证,最终确定了压电驱动器的结构与尺寸,即将锆钛酸铅（Lead zirconate titanate,PZT）薄膜设计成弹簧结构,其宽度为90μm,100μm和110μm三个不同的尺寸,厚度为1μm;对应的SiO2振动板的宽度分别为110μm,120μm和130μm,厚度为0.9μm;Parylene保护层的宽度与SiO2振动板的相同,厚度为0.7μm。（3）设计并优化驱动波形。通过数值模拟与实验验证,将电压上升时间tr=3μs,电压保持时间td=16μs和电压下降时间tf=3μs的正极性单梯形波确定为本文所研究喷头的理想驱动波形;将优化的驱动波形用于压电喷墨打印头的喷墨测试,最终喷头成功实现连续喷射,且墨滴速度可达5.6m/s,墨滴大小为11pL,从而验证了本文所设计的驱动波形的有效性和压电驱动器结构的合理性。
熊毅,张向军,温诗铸[9]（2010）在《通过介质层预注电荷提高射频微机电开关性能》文中研究表明为提高电容式静电驱动射频（radio frequency,RF）微机电系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）开关的驱动与使用性能,进行了模拟仿真。分析发现:随着开关次数的增加,介质层积累的电荷可以引起电容-电压曲线的偏移,进而引起开关的失效。为了避免这样的失效,通过在界面介质层内预注入适量的静电荷,并采用相应的新的驱动模式,可以在不改变开关结构参数的条件下,将最佳驱动电源电压幅值降为约原设计幅值1/2。对仿真分析的结论进行相关实验,一定程度上验证了设想的可行性。同时分析还发现如果采用适当的介电层材料,利用界面预注入的静电荷可能可以减慢电荷在介电层中的积累速度,从而维持驱动电压的稳定并延长开关的使用寿命。
宿智娟[10]（2010）在《MEMS宽带毫米波天线阵列研究》文中研究表明毫米波是指波长范围为1厘米到1毫米范围内的电磁波,其对应频段为30GHz-300GHz。工作在毫米波段的无线通信设备可以充分利用该波段宽带大的优势来满足高速通信的要求;此外,毫米波收发器件易于与微波单片电路集成使得射频电路的小型化可集成成为可能;毫米波与红外波段和光波段相比受恶劣天气干扰小,因而更适合无线通信。天线是无线通讯的核心部件,毫米波天线具有尺寸小、结构紧凑的优势,但同时能够保证天线的高定向性,这使得其可用于高分辨率的雷达通信和集成导航设备。共面波导馈电的平面缝隙天线由于其重量轻、剖面低、易于与单片集成电路和固态有源器件集成等优势而成为毫米波波段天线的首选。由于天线的特征尺寸要与波长相当,毫米波天线对加工精度的要求也因为波长变短而相应提高,另外,为了达到展宽带宽等性能要求,在二维平面内其结构也变得更为复杂,并出现向低剖面三维结构发展的趋势,因此传统的精密机械加工已经不能满足这样的高精度集成要求,必须探索新的制造方法。MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）技术不仅具有类似IC工艺的平面集成制造能力,同时它还兼容了微米甚至纳米级精度的三维微结构制造,三维非硅微加工技术更可以同时兼容多种材料的集成制造,提供了满足上述精确多元集成制造需求的最具可行性的新技术途径。本文意在结合三维非硅微加工技术的特点,从结构灵活构造方面开展低剖面毫米波缝隙天线阵列设计方法创新研究,探索MEMS加工技术与毫米波天线有机结合的有效方式。为此目标,分别提出了几种基于三维微结构集成的毫米波宽带缝隙天线阵列创新设计,利用Ansoft-HFSS有限元仿真软件,对创新设计的天线阵列进行了系统性仿真分析和结构参数优化,并基于三维非硅微加工技术开发了相应的集成制造工艺流程,成功研制了一种典型的阵列天线样品,完成了关键性能测试,达到了预期的目标。设计一提出了一种由共面波导并联馈电网络馈电的2×2四元天线阵列,馈电网络的T型转弯处通过架设空气桥来抑制奇模态的产生,从而保证了传输网络的低损耗,该设计中引入了切口调节支来调节阻抗匹配,测试结果表明该天线阵列的工作带宽约为30GHz-39.6GHz （S11<-10dB）,中心频率为35GHz,相对带宽为27.4%,与仿真结果吻合较好,仿真得出在整个工作带宽上,增益均保持在8.5dB-10dB之间;设计二在双向辐射的天线阵列基础上引入了带圆形孔的金属反射板,分析并优化了金属板尺寸对天线回波损耗及增益性能的影响,仿真结果表明天线阵列实现了单向辐射,在35GHz处增益达到12.2dB,当S11<-10dB时工作带宽为34.4GHz到35.9GHz;设计三在上述基础上,进一步优化参数,力求实现单向辐射宽带天线阵列,改进后的结构仿真得出的阻抗带宽为31.6GHz到39.2GHz （S11<-10dB）,相对带宽为21.7%（中心频率35GHz）,增益为11.6dB,在保证了天线单向辐射较高增益的同时,实现了宽带的性能。
二、RF MEMS器件面面观（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、RF MEMS器件面面观（论文提纲范文）
（1）压电式喷墨打印头振动板设计制造及测试（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 喷墨打印技术研究背景 |
| 1.1.1 喷墨打印理论的发展 |
| 1.1.2 喷墨打印设备的发展 |
| 1.2 压电式喷墨打印技术发展概述 |
| 1.2.1 压电式喷墨打印技术的研究现状 |
| 1.2.2 压电式喷墨打印技术的分类 |
| 1.2.3 压电式喷墨打印技术的应用 |
| 1.3 课题研究内容 |
| 2 压电式喷墨打印头振动板的结构设计与工艺选择 |
| 2.1 压电喷墨中压力传导过程 |
| 2.2 振动板结构设计和材料选择 |
| 2.2.1 振动板基底材料 |
| 2.2.2 振动板弹性层材料 |
| 2.2.3 振动板压电薄膜材料 |
| 2.2.4 振动板下电极材料 |
| 2.2.5 振动板上电极材料 |
| 2.2.6 振动板保护层材料 |
| 2.3 工艺方法的选择 |
| 2.3.1 光刻工艺 |
| 2.3.2 刻蚀工艺 |
| 2.3.3 压电薄膜制备工艺 |
| 2.3.4 薄膜沉积工艺 |
| 2.3.5 溶胶剥离工艺 |
| 2.3.6 氧化工艺 |
| 2.4 本章小结 |
| 3 压电式喷墨打印头振动板有限元仿真分析 |
| 3.1 有限元分析的理论介绍 |
| 3.2 压电振动板建模 |
| 3.3 驱动波形的对比分析 |
| 3.4 振动板结构尺寸模拟 |
| 3.4.1 振动板的长度和宽度对振幅的影响 |
| 3.4.2 弹性层的厚度对振幅的影响 |
| 3.4.3 压电层宽度对振幅的影响 |
| 3.4.4 压电层的厚度对振幅的影响 |
| 3.4.5 上电极的厚度对振幅的影响 |
| 3.4.6 保护层的厚度对振幅的影响 |
| 3.5 驱动波形模拟优化 |
| 3.6 本章小结 |
| 4 压电式喷墨打印头振动板制备工艺 |
| 4.1 压电式喷墨打印头振动板整体工艺流程 |
| 4.2 振动板各层薄膜具体工艺流程 |
| 4.2.1 硅片预处理 |
| 4.2.2 二氧化硅制备和去除 |
| 4.2.3 下电极制备和图形化 |
| 4.2.4 压电薄膜制备和图形化 |
| 4.2.5 上电极制备和图形化 |
| 4.2.6 保护层制备和图形化 |
| 4.2.7 基底图形化 |
| 4.3 牺牲层工艺优化去除负性光刻胶 |
| 4.3.1 常用去胶工艺 |
| 4.3.2 金属牺牲层工艺去除残胶 |
| 4.3.3 铜牺牲层薄膜厚度确定 |
| 4.3.4 铜牺牲层工艺去除残胶的效果 |
| 4.4 本章小结 |
| 5 压电式喷墨打印头振动板封装测试与失效分析 |
| 5.1 振动板多普勒测试 |
| 5.1.1 多普勒测试封装工艺 |
| 5.1.2 多普勒测试打印头振动性能 |
| 5.1.3 测试结果分析 |
| 5.2 打印头喷墨测试 |
| 5.2.1 喷墨测试封装工艺 |
| 5.2.2 打印头喷墨测试 |
| 5.2.3 喷墨测试结果分析 |
| 5.3 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 |
| 致谢 |
（2）龙伯透镜天线和磁性短波天线高增益特性研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 引言 |
| 1.2 梯度折射率介质 |
| 1.3 电小短波天线 |
| 1.4 论文研究内容 |
| 第2章 基于变换光学的平面广义龙伯透镜 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 变换光学的基本原理 |
| 2.3 广义龙伯透镜的聚焦特性 |
| 2.4 平面广义龙伯透镜设计方法 |
| 2.5 平面广义龙伯透镜天线性能仿真 |
| 2.6 小结 |
| 第3章 高增益龙伯透镜馈源的最佳辐射方向图 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 龙伯透镜的聚焦特性 |
| 3.3 点源激励时的最佳辐射方向图 |
| 3.3.1 增益最大时的龙伯透镜等效口径场分布 |
| 3.3.2 点源激励时的最佳辐射方向图分析 |
| 3.4 具有一定物理口径馈源激励时的最佳辐射方向图 |
| 3.5 馈源最佳辐射方向图的仿真和实验验证 |
| 3.5.1 具有径向连续介电常数分布的龙伯透镜 |
| 3.5.2 馈源天线的相位中心 |
| 3.5.3 馈源最佳辐射方向图的仿真验证 |
| 3.5.4 馈源最佳辐射方向图的实验验证 |
| 3.6 小结 |
| 第4章 基于交替反绕线圈的磁性短波天线 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 磁环天线 |
| 4.3 交替反绕线圈结构 |
| 4.4 基于交替反绕结构的短波天线设计方案和性能仿真 |
| 4.5 小结 |
| 第5章 总结与展望 |
| 5.1 总结 |
| 5.2 后期工作展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 |
（3）基于相位处理的频率源测量与控制的研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 符号对照表 |
| 缩略语对照表 |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 研究背景及意义 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.3 论文主要内容及章节安排 |
| 第二章 常见的频率测量方法 |
| 2.1 频率测量的基本方法 |
| 2.1.1 直接计数法 |
| 2.1.2 模拟内插法 |
| 2.1.3 频差倍增法 |
| 2.1.4 双混频时差法 |
| 2.1.5 相位比较法 |
| 2.1.6 频率链接技术 |
| 2.2 测量技术指标 |
| 2.2.1 测量分辨率 |
| 2.2.2 频率稳定度 |
| 2.3 本章小结 |
| 第三章 相位处理理论及应用 |
| 3.1 相位处理理论 |
| 3.1.1 相位的概念 |
| 3.1.2 相位步进现象 |
| 3.1.3 相位群同步现象 |
| 3.2 相位重合检测技术 |
| 3.2.1 相位重合检测技术原理 |
| 3.2.2 相位重合检测技术的改进 |
| 3.3 相位现象在信号采样过程中的应用 |
| 3.3.1 基于时钟游标效应的信号采样 |
| 3.3.2 量化模糊区 |
| 3.3.3 量化误差 |
| 3.3.4 边沿效应对量化误差的影响 |
| 3.4 本章小结 |
| 第四章 基于相位处理的频率测量与控制的方案设计 |
| 4.1 基于相位处理的频率测量原理 |
| 4.2 方案设计 |
| 4.2.1 频率测量方案 |
| 4.2.2 压控晶振频率控制方案 |
| 4.2.3 方案优点 |
| 4.3 软件设计 |
| 4.3.1 频率测量软件设计 |
| 4.3.2 压控晶振控制软件设计 |
| 4.3.3 数字化滤波 |
| 4.3.4 闸门形成与计数 |
| 4.4 硬件设计 |
| 4.4.1 ADC模块 |
| 4.4.2 FPGA模块 |
| 4.4.3 单片机模块 |
| 4.4.4 DAC模块 |
| 4.5 本章小结 |
| 第五章 实验与误差分析 |
| 5.1 测量实验及结果分析 |
| 5.1.1 自校实验 |
| 5.1.2 互比实验 |
| 5.2 压控晶振锁定实验及结果分析 |
| 5.3 误差分析 |
| 5.3.1 闸门设置误差 |
| 5.3.2 孔径抖动误差 |
| 5.3.3 信号随机抖动误差 |
| 5.4 本章小结 |
| 第六章 总结与展望 |
| 6.1 全文总结 |
| 6.2 展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 作者简介 |
| 附录A |
| 附录B |
（4）数字化实时处理的时间比对（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 符号对照表 |
| 缩略语对照表 |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 研究背景及意义 |
| 1.2 国内外研究现状及发展趋势 |
| 1.3 论文内容及章节安排 |
| 1.3.1 论文内容 |
| 1.3.2 章节安排 |
| 第二章 数字化的边沿效应 |
| 2.1 数字化的转换特征 |
| 2.1.1 量化误差 |
| 2.1.2 量化边沿的稳定度与均匀性 |
| 2.1.3 量化模糊区的表现 |
| 2.2 边沿效应及其对量化误差的抑制 |
| 2.2.1 边沿效应 |
| 2.2.2 边沿效应对量化误差的抑制 |
| 2.3 时钟游标原理 |
| 2.4 本章小结 |
| 第三章 高准确度的时间比对技术 |
| 3.1 时间比对的概述 |
| 3.2 模拟方式的时间比对 |
| 3.2.1 模拟方式的时间比对原理 |
| 3.2.2 模拟方式的时间比对特点 |
| 3.3 边沿拟合的时间比对 |
| 3.3.1 边沿拟合的时间比对原理 |
| 3.3.2 边沿拟合的时间比对应用 |
| 3.3.3 边沿拓展的原理性误差 |
| 3.4 边沿拟合函数的准确度分析 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 数字化实时处理的时间比对系统设计 |
| 4.1 数字化时间比对的实施方案 |
| 4.2 数字化时间比对系统的硬件设计 |
| 4.2.1 卫星信号接收单元 |
| 4.2.2 本地频标数字化单元 |
| 4.2.3 时间测量单元 |
| 4.2.4 数据处理单元 |
| 4.3 数字化时间比对系统的软件设计 |
| 4.3.1 软件流程 |
| 4.3.2 LabVIEW上位机程序 |
| 4.4 数字化时间比对系统的性能测试 |
| 4.4.1 系统的样机调试 |
| 4.4.2 系统的测试分析 |
| 4.4.3 时间比对结果与本地频率源的相关性 |
| 4.5 本章小结 |
| 第五章 数字化实时处理的时间比对误差分析 |
| 5.1 卫星信号传播延迟 |
| 5.2 电源噪声 |
| 5.3 数字化转换误差 |
| 5.3.1 ADC自身的不精确性 |
| 5.3.2 量化噪声与热噪声 |
| 5.3.3 基准电压噪声 |
| 5.3.4 时钟抖动 |
| 5.4 时间间隔启停误差 |
| 5.5 时间比对系统整体误差 |
| 5.6 本章小结 |
| 第六章 总结与展望 |
| 6.1 本文总结 |
| 6.2 工作展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 作者简介 |
| 附录 |
| 附录A HX6517T卫星接收终端原理图及PCB图 |
| 附录B ADC6645 模数转换器原理图及PCB图 |
| 附录C TMS320F28335 数字信号处理器原理图及PCB图 |
| 附录D LM358 噪声分析测试图 |
| 附录E MSP430F5438A数据处理器原理图及PCB图 |
| 附录F 按键、指示灯和USB电路原理图及PCB图 |
| 附录G PC机 LabVIEW程序 |
| 附录H LM7805 稳压器电路原理图及PCB图 |
（5）数字阵列天线中频采样与波束形成器设计及实现（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 研究背景和意义 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.3 本文的主要工作 |
| 1.4 本章小结 |
| 2 基于两级架构的波束形成器框架及算法设计 |
| 2.1 数字阵列天线布阵与波束形成功能需求 |
| 2.2 两级数字波束形成原理 |
| 2.3 两级数字波束形成硬件架构及同步设计 |
| 2.3.1 两级数字波束形成硬件架构设计 |
| 2.3.2 两级数字波束形成同步方案设计 |
| 2.4 接收通道校准算法设计 |
| 2.5 发射波束形成算法及硬件实现框架设计 |
| 2.6 本章小结 |
| 3 第一级中频采样及波束预处理电路硬件设计 |
| 3.1 雷达系统的硬件互联框架 |
| 3.1.1 雷达系统硬件组成 |
| 3.1.2 第一级中频采样及波束预处理电路板功能框架 |
| 3.1.3 硬件资源需求分析与芯片选型 |
| 3.2 第一级中频采样及波束预处理硬件电路原理图设计 |
| 3.2.1 电源电路设计 |
| 3.2.2 时钟电路的设计 |
| 3.2.3 多通道ADC高速采样电路的设计 |
| 3.2.4 FPGA的配置及I/O资源的分配 |
| 3.2.5 波控Flash电路的设计 |
| 3.2.6 主要接口电路的设计 |
| 3.3 第一级中频采样及波束预处理电路PCB设计 |
| 3.4 本章小结 |
| 4 第一级中频采样及波束预处理电路软件设计 |
| 4.1 第一级中频采样及波束预处理电路的软件设计框架 |
| 4.2 第一级中频采样及波束预处理电路的FPGA程序设计 |
| 4.2.1 AD接口模块的设计 |
| 4.2.2 中频软件无线电接收模块的程序设计 |
| 4.2.3 接收数字多波束形成模块设计与验证 |
| 4.2.4 数据发送控制模块的FPGA程序设计 |
| 4.2.5 光纤接口模块的FPGA程序设计 |
| 4.2.6 波控功能的FPGA实现 |
| 4.2.7 发射波束形成功能的FPGA实现 |
| 4.3 第一级中频采样及波束预处理电路的时序约束 |
| 4.4 本章小结 |
| 5 第一级中频采样及波束预处理电路的测试 |
| 5.1 AD有效位数的测量 |
| 5.2 窄带中频软件无线电通道幅频响应的测试 |
| 5.3 波控的软件功能测试 |
| 5.4 接收通道校准算法的验证 |
| 5.5 第一级DBF电路功能验证 |
| 5.6 DBF电路方向图测试 |
| 5.7 本章小结 |
| 6 总结与展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 附录 |
（6）“一带一路”半导体产业投资分析（论文提纲范文）
| 1 引言 |
| 2“一带一路”介绍 |
| 3“一带一路”沿线国家半导体产业现状 |
| 3.1 俄罗斯半导体产业 |
| 3.2 印度半导体产业 |
| 3.3 马来西亚半导体产业 |
| 3.4 巴西半导体产业 |
| 3.5 菲律宾半导体产业 |
| 3.6 新加坡半导体产业 |
| 4 中国半导体产业现状 |
| 4.1 半导体产业发展进入快车道 |
| 4.2 半导体产业发展困境 |
| 5 半导体产业走出去发展的机遇 |
| 5.1 多国参与, 响应积极 |
| 5.2 劳动力和市场空间潜力大 |
| 5.3 资金来源有保障 |
| 6“一带一路”半导体产业投资风险 |
| 6.1 政策风险 |
| 6.2 市场风险 |
| 6.3 竞争风险 |
| 7“一带一路”半导体产业投资建议 |
| 7.1 深入了解法律环境, 合法合规经营为先 |
| 7.2 充分有效地市场调查, 制定可行商业计划 |
| 7.3 确定可行营销战略, 抱有合理发展预期 |
| 7.4 筛选当地合作伙伴, 有效切入当地市场 |
| 7.5 互帮互助抱团取暖, 共同解决发展问题 |
| 8 结论 |
（7）一种可穿戴式全双工数字无线通信头戴的设计与实现（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 |
| 1.2 可穿戴式全双工数字无线通信头戴研究现状 |
| 1.2.1 可穿戴技术发展现状 |
| 1.2.2 软件无线电技术的发展现状 |
| 1.2.3 短距离无线通信技术 |
| 1.3 本文的主要贡献与创新 |
| 1.4 本论文的结构安排 |
| 第二章 本课题的相关技术介绍 |
| 2.1 软件无线电技术的通信原理 |
| 2.2 时分全双工的TDD通信工作方式 |
| 2.2.1 TDD介绍 |
| 2.2.2 TDD协议通信原理 |
| 2.3 本章小结 |
| 第三章 本课题系统整体技术设计方案 |
| 3.1 拟采用的工程技术方案特点 |
| 3.2 拟达到的主要技术指标 |
| 3.3 工程技术方案的实现概述 |
| 3.4 本章小结 |
| 第四章 系统详细设计 |
| 4.1 主要器件的选型 |
| 4.1.1 微型控制处理器选择 |
| 4.1.1.1 MSP430单片机介绍 |
| 4.1.1.2 介绍和比较其他几种常见的主流单片机 |
| 4.1.2 射频收发模块 |
| 4.1.2.1 主流射频收发模块选型 |
| 4.1.2.2 射频收发模块ADF7024 |
| 4.1.2.3 射频收发模块驱动与控制代码 |
| 4.1.3 音频编解码器芯片 |
| 4.1.3.1 语音模块CMX649介绍 |
| 4.1.3.2 CMX649芯片的编码方式介绍 |
| 4.1.4 抗噪声双模动圈二阶压差式送话器 |
| 4.2 结构设计 |
| 4.2.1 结构设计3D建模 |
| 4.2.2 电磁兼容性设计 |
| 4.2.3 隔噪设计 |
| 4.2.4 外观设计 |
| 4.3 硬件电路的设计 |
| 4.3.1 原理图设计 |
| 4.3.2 PCB设计 |
| 4.4 天线设计及选择 |
| 4.5 电池的选择 |
| 4.6 软件设计 |
| 4.6.1 软件开发环境 |
| 4.6.2 SPI接口的串行通信协议 |
| 4.6.3 语音激活控发和语音静噪门限自适应 |
| 4.6.4 流程图 |
| 4.6.5 程序实现 |
| 4.6.5.1 重要数据的预定义 |
| 4.6.5.2 部分模块程序的实现代码 |
| 4.7 本章小结 |
| 第五章 调试与测试 |
| 5.1 调试 |
| 5.1.1 调试目的 |
| 5.1.2 调试过程及结果 |
| 5.2 样机的测试 |
| 5.2.1 几个重要指标的测试 |
| 5.2.2 测试结果 |
| 5.3 本章小结 |
| 第六章 全文总结与展望 |
| 6.1 全文总结 |
| 6.2 后续工作展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 |
（8）压电喷墨打印头驱动器结构优化与波形设计（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 喷墨打印技术的分类、发展和应用 |
| 1.1.1 喷墨打印技术的分类 |
| 1.1.2 喷墨打印技术的发展 |
| 1.1.3 喷墨打印技术的应用 |
| 1.2 墨滴喷射成形机理的研究与发展 |
| 1.3 国内喷墨打印技术研究现状和研究意义 |
| 1.3.1 国内喷墨打印技术研究现状 |
| 1.3.2 研究意义 |
| 1.4 论文主要研究内容 |
| 2 压电喷墨打印理论基础 |
| 2.1 压电驱动器振动机理 |
| 2.1.1 压电薄膜PZT |
| 2.1.2 压电振动板SiO2 |
| 2.1.3 压电驱动器振动机理 |
| 2.2 墨滴喷射成形理论分析 |
| 2.2.1 墨滴喷射成形理论 |
| 2.2.2 墨滴喷射成形过程 |
| 2.2.3 墨水特性对墨滴喷射的影响 |
| 2.2.4 驱动波形对墨滴喷射的影响 |
| 2.3 本章小结 |
| 3 压电驱动器结构的优化 |
| 3.1 有限元数值模拟软件介绍 |
| 3.2 压电驱动器的建模 |
| 3.3 压电驱动器结构的模拟优化 |
| 3.3.1 PZT与SiO2宽度之比对振动板位移的影响 |
| 3.3.2 PZT厚度对振动板位移的影响 |
| 3.3.3 SiO_2厚度对振动板位移的影响 |
| 3.3.4 Parylene厚度对振动板位移的影响 |
| 3.3.5 SiO_2宽度对振动板位移的影响 |
| 3.3.6 PZT有无弹簧结构对振动板位移的影响 |
| 3.4 激光多普勒振动测试 |
| 3.4.1 压电驱动器封装工艺 |
| 3.4.2 激光多普勒振动测试系统简介 |
| 3.4.3 不同的SiO_2宽度在不同驱动电压下对应的振动板位移 |
| 3.4.4 有、无弹簧结构的PZT在不同驱动电压下对应的振动板位移 |
| 3.4.5 压电驱动器与压电喷墨打印头振动板的振动形态对比 |
| 3.5 本章小结 |
| 4 压电喷墨打印头驱动波形的设计 |
| 4.1 驱动波形形状和极性的确定 |
| 4.1.1 不同形状的驱动波形对应的振动板振动形态 |
| 4.1.2 不同极性的驱动波形对应的振动板振动形态 |
| 4.2 压电喷墨打印头的建模 |
| 4.3 驱动波形各参数的模拟 |
| 4.4 实验验证与结果分析 |
| 4.4.1 激光多普勒振动测试 |
| 4.4.2 墨滴频闪观测系统简介 |
| 4.4.3 喷孔处墨滴弯液面测试 |
| 4.4.4 喷孔处墨滴喷射测试 |
| 4.5 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 |
| 致谢 |
（9）通过介质层预注电荷提高射频微机电开关性能（论文提纲范文）
| 1 驱动仿真模型 |
| 2 模拟实验台 |
| 3 仿真结果分析及实验验证 |
| 3.1 降低驱动电源电压幅值 |
| 3.2 提高使用寿命 |
| 4 结 论 |
（10）MEMS宽带毫米波天线阵列研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 微机电系统(MEMS)的发展史 |
| 1.2 射频微机电系统(RF MEMS)的概况 |
| 1.2.1 MEMS 天线 |
| 1.2.2 平面馈电网络研究现状 |
| 1.3 本文的主要研究内容 |
| 1.3.1 共面波导馈电的平面缝隙天线阵列的整体设计 |
| 1.3.2 增益特性、带宽特性的仿真优化 |
| 1.3.3 馈电网络的仿真优化 |
| 1.3.4 适用于毫米波平面天线(阵)的非硅基三维微加工技术研究 |
| 1.4 本章小结 |
| 第二章 面向毫米波天线的三维非硅微加工工艺的研究 |
| 2.1 基于毫米波天线的三维非硅微加工工艺的优化设计 |
| 2.1.1 毫米波天线对传统天线加工工艺的挑战 |
| 2.1.2 加法工艺 |
| 2.1.3 减法工艺 |
| 2.2 通用图形化方法 |
| 2.3 工艺组合与流程设计的规则 |
| 2.4 本章小结 |
| 第三章 带有空气桥结构的共面波导模型分析 |
| 3.1 共面波导不连续结构 |
| 3.2 共面波导弯角结构 |
| 3.3 空气桥 |
| 3.4 共面波导T 型结构 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 共面波导馈电的毫米波宽带天线阵列 |
| 4.1 宽带毫米波缝隙天线阵列 |
| 4.1.1 天线设计 |
| 4.1.2 仿真与优化 |
| 4.2 样品制作 |
| 4.3 测试结果 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 基于共面波导馈电网络的平面毫米波单向辐射天线阵 |
| 5.1 单向辐射平面缝隙天线阵 |
| 5.1.1 天线设计 |
| 5.1.2 仿真与优化 |
| 5.1.3 小结 |
| 5.2 单向辐射平面宽带缝隙天线阵 |
| 5.2.1 天线设计 |
| 5.2.2 仿真与优化 |
| 5.2.3 小结 |
| 5.3 本章小结 |
| 第六章 总结与展望 |
| 6.1 主要结论 |
| 6.2 研究展望 |
| 致谢 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 |
| 攻读博士学位期间申请的发明专利 |
| 参考文献 |
四、RF MEMS器件面面观（论文参考文献）
- [1]压电式喷墨打印头振动板设计制造及测试[D]. 丁飞. 大连理工大学, 2021(01)
- [2]龙伯透镜天线和磁性短波天线高增益特性研究[D]. 郭广军. 中国科学技术大学, 2020(01)
- [3]基于相位处理的频率源测量与控制的研究[D]. 郭怡萱. 西安电子科技大学, 2019(02)
- [4]数字化实时处理的时间比对[D]. 燕雯. 西安电子科技大学, 2019(02)
- [5]数字阵列天线中频采样与波束形成器设计及实现[D]. 唐文平. 南京理工大学, 2019(06)
- [6]“一带一路”半导体产业投资分析[J]. 马慧红,顾爱军. 电子与封装, 2018(04)
- [7]一种可穿戴式全双工数字无线通信头戴的设计与实现[D]. 张东. 电子科技大学, 2018(09)
- [8]压电喷墨打印头驱动器结构优化与波形设计[D]. 魏宏芳. 大连理工大学, 2017(04)
- [9]通过介质层预注电荷提高射频微机电开关性能[J]. 熊毅,张向军,温诗铸. 清华大学学报(自然科学版), 2010(08)
- [10]MEMS宽带毫米波天线阵列研究[D]. 宿智娟. 上海交通大学, 2010(01)